预制加热模块,配备金属加热元件和真空成形陶瓷纤维绝缘材料,用于高达 1350°C (2460°F) 的元件温度。
易于快速安装和更换
绝缘性能提高
维护需求降低
用于各种 LPCVD 炉(低压化学汽相淀积炉)的产品,例如扩散炉,用于半导体和太阳能电池晶体硅片生产的扩散炉体。
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